Метод тонкого слоя для ЛА-МС-ИСП-анализа концентратов примесей

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Предложен способ анализа концентратов примесей методом тонкого слоя в сочетании с методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (МС-ИСП) и лазерной абляцией (ЛА). Концентраты примесей выпаривали на предварительно подготовленных участках подложки из кремния высокой чистоты, после чего проводили ЛА-МС-ИСП-анализ. Изучено влияние параметров ЛА и условий регистрации спектров на сигнал аналитов и материала подложки. Проведена оценка аналитических возможностей метода тонкого слоя в сочетании с ЛА-МС-ИСП для анализа высокочистых веществ с предварительным концентрированием примесей. На примере анализа азотной кислоты высокой чистоты показано, что пределы обнаружения аналитов при ЛА-МС-ИСП-анализе концентратов примесей с использованием метода тонкого слоя находятся в диапазоне от n × 10–11 до n × 10–8 мас. %. Таким образом, разработка комбинированных методик анализа, включающих предварительное концентрирование примесей и анализ концентратов методом ЛА-МС-ИСП, позволяет снизить пределы обнаружения большинства аналитов на порядок величины по сравнению с инструментальным МС-ИСП-анализом.

Об авторах

Н. С. Медведев

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук

Email: medvedev@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, просп. Акад. Лаврентьева, 3

В. Д. Курбатова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук; Новосибирский национальный государственный исследовательский университет

Email: medvedev@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, просп. Акад. Лаврентьева, 3; Россия, 630090, Новосибирск, ул. Пирогова, 1

А. И. Сапрыкин

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук; Новосибирский национальный государственный исследовательский университет

Автор, ответственный за переписку.
Email: medvedev@niic.nsc.ru
Россия, 630090, Новосибирск, просп. Акад. Лаврентьева, 3; Россия, 630090, Новосибирск, ул. Пирогова, 1

Список литературы

  1. Becker J.S., Dietze H.J. State-of-the-art in inorganic mass spectrometry for analysis of high-purity materials // Int. J. Mass Spectrom. 2003. V. 228. P. 127. https://doi.org/10.1016/S1387-3806(03)00270-7
  2. Пименов В.Г., Тимонин Д.А., Шишов В.Н. Атомно-эмиссионный анализ высокочистого диоксида германия с предварительным парофазным автоклавным концентрированием примесей в электроде // Журн. аналит. химии. 1986. Т. 41. С. 1173.
  3. Цизин Г.И. Развитие методов концентрирования микрокомпонентов в России (1991–2010 гг.) // Журн. аналит. химии. 2011. Т. 66. № 11. С. 1135.
  4. Цыганкова А.Р., Шаверина А.В., Шелпакова И.Р., Сапрыкин А.И. Сравнение аналитических возможностей комбинированных методик анализа высокочистых веществ с возбуждением излучения в дуге постоянного тока и индуктивно связанной плазме // Аналитика и контроль. 2012. Т. 16. № 4. С. 420.
  5. Medvedev N.S., Shaverina A.V., Tsygankova A.R., Saprykin A.I. Analysis of high-purity germanium dioxide by ETV-ICP-AES with preliminary concentration of trace elements // Talanta. 2016. V. 155. P. 358. https://doi.org/10.1016/j.talanta.2016.02.052
  6. Lundovskaya O.V., Medvedev N.S., Tsygankova A.R., Volzhenin A.V., Saprykin A.I. Multi-element optical emission and mass-spectrometry analysis of high-purity cadmium with vacuum preconcentration by matrix volatilization // Spectrochim. Acta B: At. Spectrosc. 2021. V. 177. Article 106049. https://doi.org/10.1016/j.sab.2020.106049
  7. Сапрыкин А.И., Шелпакова И.Р., Чанышева Т.А., Юделевич И.Г. Метод тонкого слоя в искровой масс-спектрометрии. Анализ поверхности кремниевых пластин // Журн. аналит. химии. 1983. Т. 38. № 7. С. 1238.
  8. Шелпакова И.Р., Сапрыкин А.И., Чанышева Т.А., Юделевич И.Г. Метод тонкого слоя в искровой масс-спектрометрии. Анализ особо чистой воды // Журн. аналит. химии. 1983. Т. 38. № 4. С. 581.
  9. Чанышева Т.А., Шелпакова И.Р., Сапрыкин А.И., Янковская Л.М., Юделевич И.Г. Анализ кислот особой чистоты химико-спектральным и искровым масс-спектрометрическим методами с концентрированием примесей // Журн. аналит. химии. 1983. Т. 38. № 6. С. 979.
  10. Шелпакова И.Р., Сапрыкин А.И., Юделевич И.Г. Искровой масс-спектрометрический анализ материалов высокой чистоты с концентрированием примесей // Проблемы аналит. химии.1984. Т. 7. С. 143.
  11. Gray A.L. Solid sample introduction by laser ablation for inductively coupled plasma source mass spectrometry // Analyst. 1985. V. 110. P. 551. https://doi.org/10.1039/AN9851000551
  12. Von der Linde D., Sokolowski-Tinten K. The physical mechanisms of short-pulse laser ablation // Appl. Surface Sci. 2000. V. 154–155. P. 1. https://doi.org/10.1016/S0169-4332(99)00440-7
  13. Koch J., Günther D. Review of the state-of-the-art of laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry // Appl. Spectrosc. 2011. V. 65. № 5. P. 155. https://doi.org/10.1366/11-06255
  14. Resano M., Belarra M.A., García-Ruiz E., Aramendía M., Rello Varas L. Dried matrix spots and clinical elemental analysis. Current status, difficulties, and opportunities // Trends Anal. Chem. 2017. V. 99. P. 75. https://doi.org/10.1016/j.trac.2017.12.004
  15. Aramendia M., Rello L., Berail S., Donard A., Pecheyrand C., Resano M. Direct analysis of dried blood spots by femtosecond-laser ablation-inductively coupled plasma-mass spectrometry. Feasibility of split-flow laser ablation for simultaneous trace element and isotopic analysis // J. Anal. At. Spectrom. 2015. V. 30. P. 525. https://doi.org/10.1039/C4JA00313F
  16. Yang L., Sturgeon R.E., Mester Z. Quantitation of trace metals in liquid samples by dried-droplet laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry // Anal. Chem. 2005. V. 77. P. 2971. https://doi.org/10.1021/ac048275a
  17. Villasenor A., Greatti C., Boccongelli M., Todolí J.L. A dried droplet calibration approach for the analysis of solid samples through laser ablation – Inductively coupled plasma mass spectrometry // J. Anal. At. Spectrom. 2017. V. 32. P. 587. https://doi.org/10.1039/C6JA00343E
  18. Kuczelinis F., Petersen J.H., Weis P., Bings N.H. Calibration of LA-ICP-MS via standard addition using dried picoliter droplets // J. Anal. At. Spectrom. 2020. V. 35. P. 1922. https://doi.org/10.1039/D0JA00184H
  19. ГОСТ 11125-84 Кислота азотная особой чистоты. Технические условия. Введен 1986-01-01. М.: Стандартинформ, 2006. 28 с.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2.

3.

Скачать (117KB)
4.

Скачать (94KB)
5.

Скачать (114KB)

© Н.С. Медведев, В.Д. Курбатова, А.И. Сапрыкин, 2023